5月份，張江實驗室(中國科學院上海高等研究院)硅光子市級重大專項200mm硅光中試平臺拓展項目(以下簡稱“200mm硅光項目”)接連進行一系列公開采購招標，預算總金額達1.19億元。采購內容主要為平臺建設需要的半導體工藝設備及相關檢測儀器，含多種顯微鏡及刻蝕、沉積設備等。
截止發稿前，200mm硅光項目共進行了11次招標，且其中已有一次招標項目近日完成2194.8 萬元的中標。預計，還將會有一系列招標發布。
以下為11個招標項目信息整理列表：
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招標項目 |
采購儀器/設備 |
數量 |
預算金額 |
開標時間 |
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200mm硅光項目和成套工藝開發爐管等設備采購項目國際競爭性招標 |
氮化硅和氧化硅刻蝕設備、高溫氮化硅介質膜熱生長設備等 |
各1套 |
2216萬元 |
06月01日 |
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200mm硅光項目和成套工藝開發深紫外曝光設備等設備采購項目國際競爭性招標 |
晶圓涂膠和顯影設備、深紫外線曝光設備 |
各1套 |
2640萬元 |
06月01日 |
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200mm硅光項目和成套工藝開發濕法刻蝕設備采購項目 |
晶圓片噴霧清洗設備、晶圓手動清洗設備、化學液供給設備 |
各1套 |
970萬元 |
06月04日 |
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200mm硅光項目和成套工藝開發硅刻蝕等設備采購項目國際競爭性招標重新招標 |
硅材料刻蝕設備、晶圓背面清洗設備 |
各1套 |
2710萬元 |
06月06日 |
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200mm硅光項目和成套工藝開發光學顯微鏡采購項目國際競爭性招標重新招標 |
光學顯微鏡 |
1套 |
52萬元 |
06月08日 |
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200mm硅光項目和成套工藝開發機械真空泵采購項目國際競爭性招標重新招標 |
機械真空泵 |
1套 |
260萬元 |
06月08日 |
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200mm硅光項目和成套工藝開發貼膜機采購項目國際競爭性招標重新招標 |
貼膜機 |
1套 |
300萬元 |
06月11日 |
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200mm硅光項目和成套工藝開發本地尾氣處理設備采購項目國際競爭性招標重新招標 |
本地尾氣處理設備 |
1套 |
500萬元 |
06月12日 |
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200mm硅光項目和成套工藝開發濕法刻蝕設備采購項目重新招標 |
晶圓片噴霧清洗設備、晶圓手動清洗設備、化學液供給設備 |
各1套 |
970萬元 |
06月11日 |
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200mm硅光項目和成套工藝開發干法去膠設備采購項目國際競爭性招標重新招標 |
干法去膠設備 |
1套 |
325萬元 |
06月14日 |
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200mm硅光項目和成套工藝開發光刻后測量設備采購項目國際競爭性招標重新招標 |
光刻后層與層間對準精度測量設備、圖形尺寸測量掃描電鏡 |
各1套 |
950萬元 |
06月21日 |
附：招標相關信息
項目聯系方式：
項目聯系人：趙麗莉
項目聯系電話：86-21-62791919×135
采購單位聯系方式：
采購單位：中國科學院上海高等研究院
地址：上海市浦東新區?？坡?9號
聯系方式：黃雨辰、021-20325063